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[1]谭必松,马志斌*,吴振辉.微波ECR氧等离子体参数测量[J].武汉工程大学学报,2009,(05):51-53.
　TAN Bi song,MA Zhi bin,WU Zhen hui.Measurement of microwave ECR oxygen plasma parameter[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2009,(05):51-53.
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微波ECR氧等离子体参数测量(/HTML)
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
期数:
2009年05期
页码:
51-53
栏目:
化学与化学工程
出版日期:
2009-05-28

文章信息/Info

Title:
Measurement of microwave ECR oxygen plasma parameter
文章编号:
16742869(2009)05005103
作者:
谭必松; 马志斌*; 吴振辉
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北 武汉 430074
Author(s):
TAN Bisong; MA Zhibin; WU Zhenhui
Key Laboratory of Plasma Chemical and Advanced Materials of Hubei Province，
Wuhan Institute of Technology， Wuhan 430074，China
关键词:
ECR等离子体; 朗谬尔双探针; 电子温度; 等离子体密度
Keywords:
microwave ECR plasma; dobule Langmuir probes; electronic temperature; plasma density
分类号:
O539
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究，测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度，分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明：a.随着气压的升高，等离子体密度先增大后减小，电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和，电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加，等离子体密度和电子温度都减小.
Abstract:
The microwave ECR plasma parameter has been diagnosed using dobule Langmuir probes. The IV characteristics of dobule probes were measured and its electronic temperature， plasma density were caculated. The effects of gas pressure， micromave power and oxygen current on the plasma parameters were analysed. The results indicated that： （1）With the increasing of gas pressure， plasma density increased and then decreased and electronic temperature gradually decreased. （2）Plasma density increased and then saturated as the microwave power was increased， electronic temperature had a very small impact on microwave power. （3）With the increasing of the flow of oxygen， plasma density and electronic temperature reduced.

参考文献/References:

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相似文献/References:

[1]沈武林,马志斌*,谭必松.磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响[J].武汉工程大学学报,2010,(09):53.[doi:10.3969/j.issn.16742869.2010.09.015]
　SHEN Wu lin,MA Zhi bin,TAN Bi song.The effects of magnetic field configuration on the electron parameters of microwave ECR plasma[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2010,(05):53.[doi:10.3969/j.issn.16742869.2010.09.015]

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：20081013
基金项目：国家自然科学基金（10875093）
作者简介：谭必松（1986），男，重庆万州人，硕士研究生.研究方向：等离子体技术与薄膜材料.
指导老师：马志斌，男，博士，教授，硕士生导师. 研究方向：低温等离子体技术及其应用. *通信联系人
更新日期/Last Update: